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アイテム
RFマグネトロンスパッタ法による金属薄膜-Si接触の電気的特性
https://akita.repo.nii.ac.jp/records/766
https://akita.repo.nii.ac.jp/records/766ccaf1f5e-c68c-418f-941b-533ad0cbc2b2
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
KJ00003583243.pdf (3.2 MB)
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| Item type | [ELS]紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2017-03-01 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | RFマグネトロンスパッタ法による金属薄膜-Si接触の電気的特性 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Electrical Properties of Si-Metal Thin Films Contacts Formed by RF Magnetron Sputtering | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 雑誌書誌ID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN10362016 | |||||
| 著者 |
千田, 誠
× 千田, 誠× 本間 弘樹× 浅野 清光 |
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| 記事種別(日) | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 論文 | |||||
| 記事種別(英) | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | Article | |||||
| 書誌情報 |
秋田工業高等専門学校研究紀要 巻 36, p. 17-24, 発行日 2001-02-28 |
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| 表示順 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 4 | |||||
| アクセション番号 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | KJ00003583243 | |||||
