@article{oai:akita.repo.nii.ac.jp:00000766,
 author = {千田, 誠 and 本間 弘樹 and 浅野 清光},
 journal = {秋田工業高等専門学校研究紀要},
 month = {Feb},
 note = {4, KJ00003583243, 論文, Article},
 pages = {17--24},
 title = {RFマグネトロンスパッタ法による金属薄膜-Si接触の電気的特性},
 volume = {36},
 year = {2001}
}