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光触媒TiO_2薄膜によるSi表面の低温酸化に関する研究 : ナノ光触媒リソグラフへの応用
https://akita.repo.nii.ac.jp/records/857
https://akita.repo.nii.ac.jp/records/8578cad1217-9d0b-4f3f-b8ec-0ab40b6ee4aa
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
KJ00003991954.pdf (2.3 MB)
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| Item type | [ELS]紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2017-03-01 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 光触媒TiO_2薄膜によるSi表面の低温酸化に関する研究 : ナノ光触媒リソグラフへの応用 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Low Temperature Oxidation of Si Surfaces by Photocatalyic TiO_2 Thin Films : Application to Nano-Photocatalytic Lithograph | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 雑誌書誌ID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN10362016 | |||||
| 著者 |
藤本, 健治
× 藤本, 健治× 浅野 清光× 岡村 澄夫 |
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| 記事種別(日) | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 論文 | |||||
| 記事種別(英) | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | Article | |||||
| 書誌情報 |
秋田工業高等専門学校研究紀要 巻 40, p. 75-82, 発行日 2005-02-28 |
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| 表示順 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 12 | |||||
| アクセション番号 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | KJ00003991954 | |||||
