@article{oai:akita.repo.nii.ac.jp:00000857,
 author = {藤本, 健治 and 浅野 清光 and 岡村 澄夫},
 journal = {秋田工業高等専門学校研究紀要},
 month = {Feb},
 note = {12, KJ00003991954, 論文, Article},
 pages = {75--82},
 title = {光触媒TiO_2薄膜によるSi表面の低温酸化に関する研究 : ナノ光触媒リソグラフへの応用},
 volume = {40},
 year = {2005}
}