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アイテム
電気的特性による高融点金属薄膜/半導体接触界面に関する研究
https://akita.repo.nii.ac.jp/records/858
https://akita.repo.nii.ac.jp/records/8585dec8cf8-f563-4149-8ede-7543c3883151
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
KJ00003991955.pdf (3.0 MB)
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| Item type | [ELS]紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2017-03-01 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 電気的特性による高融点金属薄膜/半導体接触界面に関する研究 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Interface Properties of Sputtered Refractory Metal Thin Films / Semiconductor Contacts by Electrical Measurements | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 雑誌書誌ID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN10362016 | |||||
| 著者 |
東海林, 実
× 東海林, 実× 浅野 清光 |
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| 記事種別(日) | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 論文 | |||||
| 記事種別(英) | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | Article | |||||
| 書誌情報 |
秋田工業高等専門学校研究紀要 巻 40, p. 83-90, 発行日 2005-02-28 |
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| 表示順 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 13 | |||||
| アクセション番号 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | KJ00003991955 | |||||
