WEKO3
アイテム
RFマグネトロンスパッタ法によるAu薄膜-Si接触のショットキー障壁
https://akita.repo.nii.ac.jp/records/744
https://akita.repo.nii.ac.jp/records/744bf56f045-bf49-4a4e-9ede-a85fb40c4f12
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
KJ00003583263.pdf (1.7 MB)
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| Item type | [ELS]紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2017-03-01 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | RFマグネトロンスパッタ法によるAu薄膜-Si接触のショットキー障壁 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Schottky Barrier for Si-Au Thin Films Contacts Formed by R F Magnetron Sputtering | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 雑誌書誌ID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN10362016 | |||||
| 著者 |
浅野, 清光
× 浅野, 清光× 千田 誠 |
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| 記事種別(日) | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 論文 | |||||
| 記事種別(英) | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | Article | |||||
| 書誌情報 |
秋田工業高等専門学校研究紀要 巻 35, p. 22-27, 発行日 2000-02-29 |
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| 表示順 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 5 | |||||
| アクセション番号 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | KJ00003583263 | |||||
